产业生态

INDUSTRIAL    ECOLOGY

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12英寸ALD设备

生产企业：拓荆科技股份有限公司

12英寸 , 8英寸PECVD设备

生产企业：拓荆科技股份有限公司

废气处理装置-单腔燃烧水洗式产品系列

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

废气处理装置-双腔燃烧水洗式产品

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

废气处理装置-电加热水洗式产品

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

废气处理装置-等离子水洗式产品

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

半导体专用温控装置Chiller面板系列S301

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

半导体专用温控装置Chiller面板系列H110

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

半导体专用温控装置Chiller三通道系列T-320

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

半导体专用温控装置Chiller三通道系列B-830TC

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

半导体专用低温温控装置Chiller双通道系列C210

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

半导体专用温控装置Chiller双通道系列V200

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

半导体专用温控装置Chiller双通道系列V201

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

半导体专用温控装置Chiller单通道系列V101

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

晶圆倒片机Embedded Sorter

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

晶圆倒片机Wafer Sorter

生产企业：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

PQ系列——POU纯化器

生产企业：大连华邦化学有限公司

PT系列——小型台式纯化器

生产企业：大连华邦化学有限公司

PH32/33系列-二氧化碳纯化器

生产企业：大连华邦化学有限公司

PH22系列——XCDA纯化器

生产企业：大连华邦化学有限公司

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