产品介绍

介质膜厚测量设备

产品特点

DUV到IR超宽光谱，微光斑，光谱椭偏/反射量测一体化（SE&SR）独立式膜厚量测设备

可同时量测多种、多层超薄膜的厚度THK、反射率R、折射率n、消光系数k等参数，并适用于Gate Oxide等超薄膜量测

具备图形晶圆内功能区域的识别（pattern recognition）、自动对焦（auto focus）、晶圆应力量测（stress）功能

深圳中科飞测科技股份有限公司

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