产品介绍

通过对腔体结构的设计，晶圆边腐蚀设备可以对SiO2、金属等薄层进行特定区域和形貌的精准腐蚀，广泛用于6寸、8寸、12寸晶圆边缘的LTO 氧化层的腐蚀、金属的腐蚀。

产品特点

1） 中心定位

2） 无需贴膜，减化工艺步骤

3） 一腔室完成边缘腐蚀；

4） 干进干出、一键完成

5） 精准腐蚀边缘氧化层，精度控制±0.15mm

6） 可集成前一步或后一步的清洗和腐蚀工艺

7） 超低化学气液消耗，超低废气废液排放

无锡华瑛微电子技术有限公司

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