产品介绍

无图形晶圆颗粒检测设备

产品特点

完美兼容主流工厂自动化系统

提供无与伦比的检测灵敏度、精度和吞吐量

全面覆盖半导体制程的污染检测与工艺管控需求

全面覆盖100nm-2xnm工艺节点的缺陷检测尺度需求

全面覆盖IC厂、晶圆厂、半导体设备厂的缺陷检测设备需求

深圳中科飞测科技股份有限公司

电话：15821441131

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