产品介绍

通过对腔体结构的设计，让化学液扫描晶圆表面，化学液与晶圆表面发生化学和物理反应，把晶圆上的污染物溶解并提取到化学液中，再用检测设备定性定量测量提取到化学液中的污染物，完成对晶圆表面的污染检测。

我公司是“硅片表面金属元素含量的ICPMS测定”国家标准的起草和制定单位。

中华人民共和国国家标准  GB/T  39145-2020

主要用于：

1） 工艺金属污染排查（良率问题追踪）

2） 工艺设备金属污染监测

3） 晶圆层分析（10nm-100um深度范围内杂质元素提取）

产品特点

1） 提取功能强：提取溶液组成不受限制，晶圆表面材质不受限制；

2）方法多样化：可多次提取、分步提取来快速确定污染来源；

3）更易于与测量仪器互联，一条通道，直接连接；

4）低检出限：过程简单，随机污染源少

无锡华瑛微电子技术有限公司

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