产业生态

INDUSTRIAL    ECOLOGY

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PH22系列——XCDA纯化器

生产企业:大连华邦化学有限公司

PH21系列——氨气纯化器

生产企业:大连华邦化学有限公司

PH5系列——氩气、氦气纯化器

生产企业:大连华邦化学有限公司

PH6系列——氧气纯化器

生产企业:大连华邦化学有限公司

PH7系列——氢气纯化器

生产企业:大连华邦化学有限公司

PH8系列——氮气纯化器

生产企业:大连华邦化学有限公司

PH9系列——氮气纯化器

生产企业:大连华邦化学有限公司

配方管理系统 RMS

生产企业:上扬软件(上海)有限公司

先进制程控制 APC

生产企业:上扬软件(上海)有限公司

设备自动化系统 EAP

生产企业:上扬软件(上海)有限公司

制造执行系统 MES

生产企业:上扬软件(上海)有限公司

制程排放与管路规划业务

生产企业:高频美特利环境科技(北京)有限公司

水资源回收与零排放业务

生产企业:高频美特利环境科技(北京)有限公司

废水处理业务

生产企业:高频美特利环境科技(北京)有限公司

纯水及超纯水业务

生产企业:高频美特利环境科技(北京)有限公司

前驱体

生产企业:厦门恒坤新材料科技股份有限公司

光刻胶

生产企业:厦门恒坤新材料科技股份有限公司

晶圆自动传输设备

生产企业:上海大族富创得科技有限公司

SMIF(标准机械界面)

生产企业:上海大族富创得科技有限公司

电子级二氯二氢硅

生产企业:洛阳中硅高科技有限公司

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