产业生态

INDUSTRIAL    ECOLOGY

半导体专用温控装置Chiller三通道系列B-830TC

生产企业:北京京仪自动化装备技术股份有限公司

生产介绍:半导体专用温控装置(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备。研发人员在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

  联系人:依丽沙    
  电话:18600373622

  产品详情

产品介绍

半导体专用温控装置(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备。研发人员在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

产品特点

三通道整合,达到空间的高效利用

优化系统传热设计,节省循环液使用量

深化性能开发,匹配先进刻蚀工艺需求

具有液位平衡功能


  联系方式

北京京仪自动化装备技术股份有限公司

电话:18600373622

E-mail:yilisha@baecltd.com.cn

地址:北京市亦庄经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座


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