产品介绍

半导体专用温控装置（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。研发人员在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术，显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

产品特点

三通道整合，达到空间的高效利用

优化系统传热设计，节省循环液使用量

深化性能开发，匹配先进刻蚀工艺需求

具有液位平衡功能