中科院：上海光机所计算光刻技术研究取得进展

近日，中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室提出一种基于虚拟边（Virtual Edge）与双采样率像素化掩模图形（Mask pixelation with two-phase sampling）的快速光学邻近效应修正技术（Optical proximity correction, OPC），仿真结果表明该技术具有较高的修正效率。

ASML第2代EUV光刻机开发传瓶颈，神队友救援力拼原时程问世

盛美半导体首台清洗设备入驻芯物科技12吋中试生产线

据盛美半导体官微消息，2021年6月7日，上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺设备搬入仪式在新傲工厂举行，盛美半导体设备（上海）股份有限公司首台清洗设备入驻芯物科技。

一季度上海集成电路产业销售收入达437亿元 同比增长16.93%

6月9日，在2021世界半导体大会上，上海市集成电路行业协会秘书长郭奕武表示，上海已经成为国内集成电路产业综合水平高、产业链完整、产业生态环境好的集聚地之一。

WSTS：全球半导体今年产值或增19.7% 达5272美元

据中央社报道指出，世界半导体贸易统计组织（WSTS）预估，今年全球半导体产值将达5272亿美元，将成长19.7%；存储器产值将成长31.7%，增幅将高居第一。

倾听行业的“芯”声，“智能驾驶和汽车芯片”论坛嘉宾观点汇总

6月8日，由爱集微主办，张江高科协办的首届“智能驾驶和汽车芯片”论坛于上海举办，邀请到智能汽车产业链上下游的知名专家、名企高管，围绕自动驾驶、智能座舱、汽车电子等行业热点问题，探讨技术发展趋势。

国际上首次，北大教授参与实现异质衬底侧向外延的GaN基功率电子器件

降低GaN材料缺陷密度、提高晶体材料质量是当前第三代半导体领域最具挑战的课题之一，而在廉价且配套产业完善的硅衬底上实现高质量GaN材料的外延生长则是产业发展的最重要战略方向和迫切需要。

海关总署：今年前5个月集成电路进口2603.5亿个，增加30%

6月7日，海关总署数据显示，今年前5个月，进口机电产品2.87万亿元，增长21.8%。其中，集成电路2603.5亿个，增加30%，价值1.04万亿元，增长18.2%；汽车（包括底盘）42.9万辆，增加54.2%，价值1497亿元，增长61.2%。