8月25日晚间，芯源微发布2022年半年报。上半年公司实现营业收入5.04亿元，同比增长43.70%；归母净利润6940.67万元，同比增长97.91%。

公司表示，营业收入增长主要原因是半导体行业景气度持续向好，同时公司产品竞争力不断增强，新签订单同比大幅增长，收入规模持续增长。归属于上市公司股东的净利润同比增长主要原因是公司销售收入增长。

产品研发方面，报告期内，公司前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破：光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术均达到国际先进水平。前道物理清洗机在自动刷压控制技术上已达到国际先进水平。

产品销售方面，报告期内，前道涂胶显影领域，随着公司前道涂胶显影机各项技术的突破与进步，前道涂胶显影机产品竞争力不断增强，客户认可度持续提升。报告期内，公司offline、I-line、KrF机台均实现了批量销售。

前道物理清洗领域，公司生产的集成电路前道晶圆加工领域用物理清洗机SpinScrubber设备已经达到国际先进水平并成功实现国产化发展，报告期内陆续获得了中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯、北京燕东等多个前道大客户的批量重复订单，国内市场占有率稳步提升。

在后道先进封装领域，公司生产的后道涂胶显影设备和单片式湿法设备部分技术已领先于国际知名企业，目前作为主流机型已批量应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、中芯绍兴、中芯宁波等一线大厂，已经成为客户端的主力量产设备。

化合物、MEMS、LED等小尺寸领域，公司生产的小尺寸涂胶显影设备与单片式湿法设备，可覆盖化合物、MEMS、LED等多个领域，目前作为主流机型已批量应用于三安集成、中芯宁波、中电科集团、士兰明镓、华灿光电、江西兆驰、东莞中图、乾照光电、北京赛微等国内一线大厂，已经成为客户端的主力量产设备。