产品详情● GMR系列干泵，可应用于清洁工艺以及一般严苛工艺； ● 可靠性高，使用成本极低； ● 主要适用于半导体行业刻蚀与离子注入工艺腔。
型号Model | 长(mm) | 宽(mm) | 高(mm) |
GMR200 | 695 | 290 | 434 |
GMR600 | 695 | 290 | 706 |
GMR1200 | 695 | 290 | 706 |
技术参数
型号 | 最大抽速 | 极限真空 | 进气口径 | 排气口径 | 电源电压 | 额定功率 | 运行功率 | 冷却水 | 氮气 | 电源输入 | 重量 | 噪音 |
GMR200 | 210 | 0.005 | ISO63 | NW25 | 208/380 | 1.9 | 0.7 | 1.9 | 20~40 | HAN 40A | 140 | <63 |
GMR600 | 610 | 0.005 | ISO100 | NW25 | 208/380 | 3.8 | 1.1 | 2.1 | 20~90 | HAN 40A | 250 | <63 |
GMR1200 | 1050 | 0.005 | ISO100 | NW25 | 208/380 | 3.8 | 1.3 | 2.1 | 20~90 | HAN 40A | 250 | <63 |
抽速曲线
联系方式地址：北京市通州区马驹桥镇科创十五街1号院
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