该产品主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个循环装置，属于生产过程中的温控设备。研发人员在自创的无模型自建树算法的基础上加入自适应控制技术，显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。实现-100℃〜90℃温控范围，控温精度±0.1℃。