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【大连华邦】打破垄断奔向全球气体纯化领域最前沿

来源:大连华邦化学有限公司

日期:2022-05-30   

在2014年之前,全球只有美国、日本的3家企业能够生产超高纯气体纯化设备。目睹国内半导体产业气体纯化设备领域的困境,华邦团队决心改变这一状况。2013年,由6人组成的团队开始创业,从事超纯气体纯化技术、催化剂等产品研发。2014年,团队开辟全新工艺制备技术路径,生产出第一台超纯气体纯化器。2016年是关键的一年,华邦团队实现产品技术突破,成功开发出9N级气体纯化器。2021年跻身国家级专精特新“小巨人”企业。

大连华邦化学有限公司纯化器采取吸附技术、吸气技术和催化技术。吸附技术由吸附器(内置吸附剂、加热器)和相应程控气动阀门组成。吸附器可深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO、H2、NMHC等杂质,吸附饱和后可切换至待用吸附器进行吸附,饱和的吸附器可以在加热的条件下通H2再生,多台吸附器交替工作即可实现不间断纯化;吸气技术由吸气柱(内置Getter和加热器),换热器、冷却器组成。Getter属于消耗性填料,在高温下可以吸收气体中稀有气体以外的所有杂质,吸气柱饱和后整体更换;催化技术由催化反应器(内置催化剂、加热器)、换热器、冷却器等组成,主要用于氮、氧气气体中除甲烷。通过以上技术,产气纯度最高能达99.9999999%(即9N),超出国家标准3个数量级,技术水平达到国际一流水平,而且大连华邦形成了包括氮气、氧气、氢气、氩气、氦气、二氧化碳、XCDA、氨气、氪气和氖气10种气体,80余个规格的完善的产品体系,目前产品已覆盖集成电路产业链除封装以外的全部环节,可满足目前集成电路生产的需求。

大连华邦不仅已在上海格科微,中芯国际,武汉长鑫,大连英特尔,无锡海力士,上海集成电路研发中心等十余家国家重点项目进行配套并全部实际应用,而且还于2021年将产品成功出口至新加坡格罗方德半导体产线。大连华邦部分产品已实现进口同类产品的替代,不仅打破了长期以来由国外进口纯化器垄断国内半导体行业市场的局面,还实现国内气体纯化器的海外大规模应用。目前公司未来公司发展将引入行业资源,力争2年内北交所上市。

2018年大连华邦气体纯化器获得了第十三届中国半导体创新产品和技术奖,在国内气体纯化器这个细分领域市场占有率及技术水平均处于第一位。目前,公司共申请知识产权40余项、授权发明专利2项、实用新型专利16项,形成较为完善的自主知识产权体系。大连华邦化学将继续攻关气体纯化行业共性关键技术,重点研发半导体行业用超纯氨气、二氧化碳等气体纯化设备,替代同类设备的进口,加速成为国际半导体气体纯化领域的领军企业。


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