产品介绍

在集成电路制造中，石英部件大量用于氧化、光刻、刻蚀、扩散等多个工艺环节，亦盛专注于刻蚀领域石英耗材零部件，涉及石英环、石英电极、石英盘、石英喷嘴、石英窗等。亦盛已攻克ETCH工艺腔体内多款石英核心产品，掌握多种清洗工艺，机械抛光工艺，火加工工艺要求，特别是小孔洁净控制技术。目前可涵盖所有ETCH腔体内石英部件，产品性能满足28nm工艺要求。

应用领域

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北京亦盛精密半导体有限公司

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