芯源微4月27日晚披露2022年一季报。报告期内，公司实现营业收入1.84亿元，同比增长61.99%；实现归属于上市公司股东的净利润3241.35万元，同比增长398.34%。

芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售业务。主要产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，广泛应用于芯片制造、先进封装、MEMS、LED等领域。作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白。截止目前累计销售1400余台套，产品成功打入包括中芯国际、台积电、上海华力、长江存储、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌、东莞中图等在内的多家国内知名一线大厂，堪称国内半导体装备产业细分市场的“隐形冠军”。报告期内，公司持续加大自主研发力度，在核心零部件和单元技术、整机产品研发等方面取得重要进展。公司在前道涂胶显影领域、前道物理清洗领域、后道先进封装领域及化合物、MEMS、LED等小尺寸领域研发上不断发力。此外，市场销售取得重要突破。 

芯源微此前在2021年年报中表示，2022年，公司将进一步巩固传统优势领域，积极开拓海外市场。值得一提的是，在化合物等小尺寸领域，4至6英寸化合物半导体市场正在迅速崛起，MiniLED等新一代显示技术也趋于成熟，这将成为未来小尺寸领域行业发展的重要驱动力。芯源微紧紧抓住小尺寸领域的行业发展方向，积极推出适用于新兴领域的半导体设备，公司已有产品在化合物领域、MiniLED产线上批量应用。公司将继续紧跟行业发展趋势，不断推出适应行业新技术的产品，持续提升公司在小尺寸领域的市占率。此外，将积极建立海外销售体系，培育和拓展海外市场，为公司发展创造新的增长点。 

此外，将抓住前道发展机遇，加大研发投入，聚焦前道涂胶显影设备和单片式清洗设备领域；建立测试验证平台，缩短研发周期和客户端验证周期；进一步完善供应链建设，不断提升产品竞争力。