产品介绍

KSI分流阀箱设计符合半导体（SEMI） 和电子工业操作的标准，是一种安全可靠、方便操作且具有安全联锁的半自动分流阀箱，可以为客户提供稳定的工艺药液供应。分流阀箱每条供应的支管都有相同的设计，每条支管都有独立的手动阀门与气动阀门,每台分流阀箱都有独立的漏液侦测器,在检测到有漏液状况时,化学供酸柜CDM会报警并可由业主选择是否停止供应。

产品特点

1.分流阀箱的设计与制造符合半导体SEMI规范跟高纯度洁净电子行业要求

2.所有阀门及部件都经过特殊选择，以满足诸如耐腐蚀、纯度和压力等级等要求 

3.提供安全、洁净及稳定的药液供应

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