产品介绍

新松真空硅片传输平台系列产品，包括自主开发的真空直驱机械手、VCE焊接腔室、真空腔室等，涵盖8英寸（兼容4/5/6英寸）硅片真空传输平台和12寸硅片真空传输平台两大类产品。

产品特点

具备高真空度、高洁净度、高效率传输特性，满足相关SEMI标准，产品可应用PVD、CVD、ETCH等工艺情况，新松有能力为客户提供晶元硅片的真空传输系统解决方案。

沈阳新松机器人自动化股份有限公司

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