产品介绍

用于IC行业FOUP自动化搬送、存储，实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。优化结构及气流流场设计，可使洁净度达到ISO Class4等级要求；带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能，有效保护FOUP、晶圆、人身安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失；全新的系统运动逻辑规划，提高产品搬送效率；标准的SEMI软件接口，可以方便对接面板厂MCS系统，可实时上报系统各种状态数据，实现工厂智能管理；可以根据客户应用的特殊要求，定制设备功能及尺寸。

产品特点

FOUP STK，高洁净度，电缆供电，低噪音，行走免润滑，SEMI软件接口，碰撞保护功能， Automatic teaching,设备可定制

沈阳新松机器人自动化股份有限公司

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