产品介绍

新松Phoenix系列真空直驱机械手采用直驱电机结构，具有高真空特性，高精度的动态纠偏功能以及双独立控制等技术。此系列机械手耐真空可达5×10-9Torr，重复定位精度可达±0.05mm，AWC纠偏精度可达±0.1mm，并支持热插拔功能，易于操作，具有牵引示教功能，使系统运行平稳，可靠性更高。

产品特点

高灵活性，高稳定性的特点特别适用于Etch、PVD、CVD等高端传输领域，可兼容8寸/12寸多工位真空腔室平台，能够满足IC产业自动化领域的传输需求。

沈阳新松机器人自动化股份有限公司

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