产品介绍

KSI 分流阀箱设计符合半导体（SEMI） 和电子工业操作的标准，是一种安全可靠、方便操作且具有安全联锁的半自动分流阀箱，可以为客户提供稳定的工艺气体供应。分流阀箱每条供应的支管都有相同的设计，在工艺气体经出口输出阀门前都经过调压阀进行调节，并且每根支管设计成俱备独立循环吹扫的功能。

产品特点

1.设备的设计与制造符合半导体SEMI S2及S8规范跟高纯度洁净电子行业要求。

2.基于气柜端供应的气源可以稳定的分流供应给下游制程机台。

3.采用触控屏控制，所有功能皆可在触控屏实现，操作简易。

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