产品介绍

新莱 NanoPure SD 超高纯气体隔膜阀使用于半导体制程中超高纯气体开关，不产生Particle，不污染制程气体纯度。压力: 250 psig (17bar) 流量 : Cv = 0.6

产品特点

新莱NanoPure SD 超高纯气体隔膜阀材料有

316L, VAR, VIM/VAR可选，膜片: Hastelloy

 C-22, Elgiloy，阀座: PCTFE, VESPE, PFA，可根据不同制程来做搭配。

昆山新莱洁净应用材料股份有限公司

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