产品介绍

高纯乙硅烷有别于硅烷的特殊化学特性（易分解），在PECVD制造工艺中成膜温度比硅烷低很多、成膜速率快、膜质量平滑均匀。

产品特点

高纯度、低成本、高稳定性

烟台万华电子材料有限公司

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