产品介绍

新莱AdvanTorr闸板阀拥有发明专利，设计为单轴运动，无振动，颗粒自由运动。特殊的“ARM LOCK”动作确保当运行过程中电源和空气供应出现故障时，闸门在关闭位置被安全地密封。传输狭缝阀的设计是耐用的，无需维护的操作多达500万次，由于其简单的模块化设计，特别容易维修。

产品特点

ARM LOCK 自动定位机构-即使在更大的压差下仍然保持关闭位置-当电源和空气供应失效时保持关闭位置-可重复的硫化密封，免维护操作- >5百万周期之间的维护-为SEMI应用处理晶圆高达450mm ARM ARM特性-专利机制-低维护成本-无齿轮，不需要搬迁-高可靠性-无颗粒密封

昆山新莱洁净应用材料股份有限公司

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