产品介绍

PWS600是Plasma等离子燃烧水洗尾气处理设备

工艺尾气4个进口，KF40

设备尺寸：   1200(D) X 1000(W) X 2220(H)

设备重量   ：700 Kg

最佳容量（包括清洗空气和氮气）： 1200 SLM

处理尾气容量（腔内流量）：600SLM

加热处理方式：高温等离子火炬

工作火焰中心温度：3000ºC~10,000ºC

设备在气体进、出口有独立的压力检测

设备使用方便可靠，维护方便

设备符合SEMI-S2

产品特点

1.  等离子火炬燃烧技术,等离子炬的高温、高能活性基团、高能自由电子快速将尾气氧化、还原、裂解

2.  电极使用寿命>6个月，可以快速拆卸更换；

3.  优秀的PFCs氟类气体处理效果.

4.  用电及设备安防监控措施完善,设备的安全性高

5.  应用:PFC, CVD, Etch, Diffusion,Epi, 光伏,太阳能,平板显示等行业工艺制程的尾气处理

6.  逐渐被广泛应用

杭州慧翔电液技术开发有限公司

电话：18072979789

E-mail：liusaibo@jsjd.cc

地址：浙江省杭州市余杭区龙船坞路96号