产品介绍

BWS700燃烧水洗式(Burn-wet):利用天然气,液化气或氢气甲烷等作为燃料，压缩空气(CDA)或氧气(O2)作为助燃气体在封闭的燃烧腔里产生高温燃烧，将制程工艺设备腔室里面残余的有毒有害的气体和反应生成的有害气体输入到Scrubber里进行燃烧分解和氧化，后端再经过三道喷淋水洗，在Water fall中进行一阶段水喷淋，把燃烧产生的副产物进行第一遍洗涤，残余的颗粒进入第二段带有填充物的二段喷淋塔做第二次和第三次水洗过滤处理，使主要毒气燃烧分解产物完全被过滤到水箱溶液里面，使尾气达到排放的标准。

产品特点

1.  防粉尘堵塞设计

2.  高温处理:1300℃-1500℃

3.  大处理量>700升,可以处理250升氢气

4.  设备安防监控完善,设备的安全稳定.

5.  设备符合SEMI-S2认证

6.  大量的使用案列和丰富的经验积累,满足客户需求,可以放心使用

7.  对全氟化碳(PFC) 处理的卓越效果(CF4 处理效果≥ 95%)

8.  燃气燃烧水洗式是应用最多的一种尾气处理方式.

9.  广泛应用于半导体,面板显示器,光伏太阳能等行业制造的EPI,TF,ETCH,TIFF等制程中

杭州慧翔电液技术开发有限公司

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