产品介绍

上海大族富创得的Stocker设计，采用模组整合设计理念，内部的存储货架可根据客户的不同需求拼接整合。公司拥有自主产权和最先进的晶圆盒搬运机械人技术和系统控制软件，保障了stocker的平稳运行和技术的持续创新。除了存储功能，和OHT、AGV等自动搬运设备连接的基础功能外，上海大族富创得Stocker更提供了与wafer sorter、晶圆片检测设备等的第三方设备进行系统整合，提高搬运和传输效率。

产品特点

1、用于洁净室内的半导体生产工序及工序之间半成品的晶圆盒的搬运和存储

2、可提供各种规格晶圆盒存储(FOUP、POD、BOX)

3、货架模块化设计，可随不同需求进行拼接

4、可与OHT、AGV设备自由对接

5、搭配pRack AGV，可实现一次搬运多个晶圆盒，大大提高晶圆盒的搬运效率

6、设备内部配有监控系统，提高设备运行可靠性(可选)

7、维护门配有互锁机构，保障设备维护安全性

上海大族富创得科技有限公司

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E-mail：Sundy.zhang@fortrend.com.cn

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