产品介绍

上扬软件的配方管理系统（RMS）完全符合SEMI E42体系标准，对设备配方及其Recipe Body内容进行有效的存储、管理和控制。

产品特点

通过与FA EAP（或其它EAP系统）和myCIM（或其它MES系统）结合，可以实现配方自动选择、自动加载、自动校验，能够极大的降低生产加工过程的用错配方的概率，极大的降低操作员的工作强度。

上扬软件（上海）有限公司

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