产品介绍

用于铜、钨、铝等化学机械抛光后的清洗

产品特点

有效去除抛光后表面研磨颗粒和化学物残留，防止铜表面腐蚀，降低表面缺陷。

安集微电子科技（上海）股份有限公司

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