产品介绍

采用钎焊工艺制备，与抛光垫搭配使用，保证晶圆研磨的稳定性。

可应用于STI、Oxide、Cu等制程。

产品特点

采用完整晶型金刚石，使修整器表面更加均匀；

具有良好钻石出刃高度和可靠的钻石把持力；

对抛光垫具有良好稳定的修整能力，提高研磨垫的使用寿命。

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