产品介绍

SMIF(标准机械界面)技术实现了晶圆片在不同工艺设备间的高效传输，为半导体制造工厂提供了清洁度class-1的晶圆传输环境。

产品特点

1、自主研发，拥有7项中国和国际SMIF专利

2、灵活的软件、硬件配置，可适用于现有所有设备

3、集成ULPA Fan Filter Unit (FFU)，实现最佳的传输环境

4、灵活的抓取设计，方便开/关盒，可倾斜和旋转cassette，占地面积小

上海大族富创得科技有限公司

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