产品介绍

用于单晶硅/多晶硅的抛光，可用于硅片抛光、逻辑和存储器工艺、背照式传感器(BSI)工艺等。产品包括三大系列。

产品特点

高选择比硅粗抛系列产品具有高稀释比，高硅去除速率，高硅对氧化物/氮化物的选择比。硅精抛液系列具有低缺陷的优点。

多晶硅抛光液系列产品具有高稀释比，高多晶硅去除速率，高平坦化能力等有点

BSI抛光液系列具有理想的硅和二氧化硅去除速率和选择比。

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