产品介绍

SA-300T系列是我公司自主研发的次常压化学气相沉积（SACVD）设备，拥有自主知识产权。SACVD反应腔搭载在已通过量产验证的高产能PECVD平台上，充分实现设备对产能的需求。该设备主要应用在STI、PMD/ILD等，满足Gap-fill的需求。

产品特点

-高质量的TEOS SiO2和BPSG工艺

-可依客户选择配置1-3路液态源，实现多种先进工艺

-可与8英寸兼容互相切换（SA-200T）

-可搭载1-3个PM

-通过S2安全认证和F47标准检验

拓荆科技股份有限公司

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