产品介绍

对标IC1000系列，通用性好，具有良好的RR、PE以及dishing/erosing

产品特点

广泛应用于Copper bulk, Tungsten, STI, Oxide等制程，是目前最成熟也是出货量最大的产品

湖北鼎汇微电子材料有限公司

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