产品介绍

用于集成电路制造工艺中浅槽隔离的抛光。

产品特点

采用氧化铈研磨颗粒，具有高选择比，高平坦化效率，低缺陷率等优点。

安集微电子科技（上海）股份有限公司

电话：13916251892

传真：021-50801110

E-mail：patrickwu@anjimicro.com

地址：上海浦东晨晖路258号E座1-3楼