产品介绍

上海大族富创得晶圆激光打标设备整合了大族激光在激光领域多年积累的经验和自身成熟稳定的晶圆传输系统，将镭射打标机和晶圆搬运设备无缝整合，推出了全新的晶圆激光打标机，在单台设备上实现晶圆精密打标及自动倒片功能。高性价比，全自主知识产权，不但为国家填补了技术空白，更为国内晶圆厂提供了比进口设备更优良的激光打标产品和服务。

产品特点

1、设备可实现Laser Marking 和Sorter两种功能

2、支持M12/M13、校验码自动生成

3、支持SEMI 59，917，1018点阵字体

4、支持SEMI T7二维码

5、支持SEMI T1, BC412条形码(可选)

6、支持SECS/GEM EAP自动化控制

7、激光功率自动校准

8、配置净化装置防止打标时产生的particle污染晶圆片

9、系统具有故障诊断、用户权限管理、历史加工数据、设备运行Log查询功能

10、配置高效率的FFU（风机过滤系统）使整机设备洁净度达到Class 100

11、Marking verification (标记验证）系统支持检查出以下问题：打标错误、打标不全、字符缺失、位置偏移

12、配置高性能静电去除装置，能够有效去除设备静电，防止静电对wafer片造成损伤

上海大族富创得科技有限公司

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