产品介绍

铜制程化学机械抛光后配方清洗液，对标EKC PCMP5670产品，具有高清除力与金属防护能力兼具的优点。现阶段已在多家客户进入STR,MSTR流程，所得数据良好，即将上线

产品特点

适用于先进制程的碱性配方清洗液，缺陷清除力高，金属防护效果好，降低铜线表面的粗糙度，有效延长Q-Time

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