产品介绍

研磨液及化学品供液系统，6-12inch，Central和Local 系统的需求、研发和量产所需的研磨液供应需求

产品特点

双备份供液功能、管路温控设计、流体搅拌功能（无搅拌桨）、与CMP主机台通讯功能、拓展功能、通过S2认证

吉姆西半导体科技（无锡）有限公司

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