产品介绍

废气处理装置是为半导体、液晶面板等行业中所产生的有毒害化学品提供一个可控制的气体处理环境。针对不同化学品的化学性质和物理性质选用不同形式的处理方式进行化学反应或物理吸附等，以达绿色环保等级的处理效率和排放标准。我司对废气处理装置具备独立的研发技术能力，能够为每一位客户提供优质的产品和技术服务。

产品特点

使用制程

适用于半导体制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF),以及太阳能，面板或LED行业

高利用效率

高流量以及多进口设计

较小的占地面积

全新系统设计

采用燃烧水洗式双腔设计，2+2 or 3+3 inlet可支持多个工艺连接。双腔功能，单腔切换，独立工作，相互之间无影响

气体处理量400slm/800slm,CDA与O2版本满足不同气体处理量需求

燃烧反应腔

可自身/双机互备，提供更多互备方案选择，实现资源利用最大化

支持Process Mode/Idle Mode多个模式可选，降低能耗

可维护性、安全性增强

部件模块化设计及灵活的维护空间便于拆装

PLC安全互锁系统，烟感、漏液侦测等传感器的使用，保证设备安全进行