产品介绍

产品可以实现温度控制和射频控制，提升均匀度，而且在真空，高电压，强腐蚀性环境下，耐磨耐蚀，不能发生弧光放电。可以提供各款维修，翻新，并依据客户需求改造等服务。

产品特点

具有高平整度，均匀性；

具有4区的温度控制；

满足半导体工艺要求；

具有较长的使用周期。

君原电子科技(海宁)有限公司

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