产品介绍

六氯乙硅烷是一种性能稳定、挥发性低的湿度敏感型液体，可以在低温工况中替代硅烷或二氯甲硅烷应用于高品质氧化硅与氮化硅薄膜的淀积生产工艺中，其在半导体存储和逻辑芯片制造技术工艺中发挥着至关重要的作用。

产品特点

六氯乙硅烷作为ALD硅源前驱体，自身具备极高的利用价值。大部分原料来源于多晶硅系统副产物混合物，成分复杂，需经多步提纯工艺才能满足指标要求。

产品指标：纯度≥99.9%， Al≤1.0ppb， Ti≤1.0ppb,Fe≤1.0ppb, Cr≤0.5ppb，As≤0.1ppb，Mn≤0.1ppb，Co≤0.1ppb。

洛阳中硅高科技有限公司

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