产品介绍

废气处理装置是为半导体、液晶面板等行业中所产生的有毒害化学品提供一个可控制的气体处理环境。针对不同化学品的化学性质和物理性质选用不同形式的处理方式进行化学反应或物理吸附等，以达到绿色环保等级的处理效率和排放标准。我司对废气处理装置具备独立的研发技术能力，能够为每一位客户提供优质的产品和技术服务。

产品特点

适用制程

适用于半导体制程（ETCH）

对全氟化碳（PFC）气体处理的效果卓越

全新系统设计

等离子弧火焰超过3000℃，可以高效处理PFC气体

低耗电量，等离子电源能耗可根据应用制程进行调节

Plasma反应腔

耐腐蚀材料应用提高了部件的使用寿命

反应腔采用水冷

可维护性、安全性增强

PIC安全互锁系统

烟感、门禁、漏液等互锁装置保证机台安全稳定运行

部件模块化设计便于拆装维护

高利用效率

高流量以及多进口设计，可以连接多个制程工艺

较小的占地面积