产品介绍

EFEM/SORTER为晶圆自动传输设备，可对接工艺设备作为前端自动化模块，也可以作为独立设备进行晶圆片的排序、读码和对齐等工作。可根据客户需求进行不同配置，满足晶圆片自动化搬运的需求。

产品特点

1、机械手、Loadport等模组为自行开发制造，可根据需求进行定制

2、可配置Aligner、OCR和翻转等模组

3、可选配选200mm/300mm混合系统

上海大族富创得科技有限公司

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