产品介绍

电子级三氯氢硅不仅用于生产多晶硅，也可作为半导体硅外延所需的反应气体，在硅外延片生产中得到了广泛的应用，硅外延片主要用于功率半导体器件和12英寸逻辑芯片。

产品特点

三氯氢硅要求提纯产品的杂质含量达到pptw级别。三氯氢硅中的硼、磷及其他金属化合物等杂质，存在形态复杂，杂质间多元相互作用，难以分离，大大提高了提纯的难度。

产品指标：纯度≥99.99%， Fe≤0.5ppb， Ni≤0.1ppb；B≤0.05ppb，P≤0.1ppb，Al≤0.1ppb，甲基氯硅烷≤0.01ppm.

洛阳中硅高科技有限公司

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